填空題

雜質(zhì)原子在半導(dǎo)體中的擴(kuò)散機(jī)理比較復(fù)雜,但主要可分為()擴(kuò)散和()擴(kuò)散兩種。

答案: 替位;間隙
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最常用的金屬膜制備方法有()加熱蒸發(fā)、()蒸發(fā)、()。

答案: 電阻;電子束;濺射
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