問答題

【簡答題】寫出IC制造的5個步驟。

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【論述題】應力分為壓應力和張應力,下圖的形狀是由于哪種應力產(chǎn)生的?請在圖上標出應力的方向。如果要讓上面的結(jié)構(gòu)材料變得平整,要怎么做?

答案: 張應力(張的時候產(chǎn)生的應力)與壓應力(壓的時候產(chǎn)生的應力)
在張應力作用下,薄膜會相對襯底進行...
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