晶向偏離度總厚度誤差,平衡度,翹曲度等
晶體機(jī)構(gòu)中質(zhì)點(diǎn)排列的某種不規(guī)則性或不完善性。又稱晶格缺陷。
A.擴(kuò)散層質(zhì)量 B.設(shè)計(jì) C.光刻