問答題

【論述題】分別簡述RVD和GILD的原理，它們的優(yōu)缺點及應用方向。

答案： 快速氣相摻雜（RVD，RapidVapor-phaseDoping）利用快速熱處理過程（RTP）將處在摻雜劑氣氛中的硅片...
微信掃碼免費搜題