A.內部的雜質分布 B.表面的雜質分布 C.整個晶體的雜質分布 D.內部的導電類型 E.表面的導電類型
A.比色法 B.雙光干涉法 C.橢圓偏振光法 D.腐蝕法 E.電容-電壓法
A.薄膜表面無斑點 B.薄膜中的帶電離子含量符合要求 C.薄膜表面無針孔 D.薄膜的厚度達到規(guī)定指標 E.薄膜厚度均勻,結構致密