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下列哪些元素在硅中是快擴散元素:()。
A.Na
B.B
C.P
D.As
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單項選擇題
He,OH,Na等元素在900℃下,在二氧化硅中的擴散率大于10-13cm
2
/s,這些元素稱為()。
A.活躍雜質(zhì)
B.快速擴散雜質(zhì)
C.有害雜質(zhì)
D.擴散雜質(zhì)
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如果磷在二氧化硅中擴散,對擴散率影響最大的因素是:()。
A.擴散劑總量
B.壓強
C.溫度
D.濃度
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