多項選擇題

晶片經(jīng)過顯影后進行堅膜，堅膜的主要作用有（）。

A.除去光刻膠中剩余的溶劑
B.增強光刻膠對晶片表面的附著力
C.提高光刻膠的抗刻蝕能力
D.有利于以后的去膠工序
E.減少光刻膠的缺陷

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多項選擇題

有關光刻膠的顯影下列說法錯誤的是（）。

A.負膠受顯影液的影響比較小
B.正膠受顯影液的影響比較小
C.正膠的曝光區(qū)將會膨脹變形
D.使用負膠可以得到更高的分辨率
E.負膠的曝光區(qū)將會膨脹變形

單項選擇題

下列哪些因素不會影響到顯影效果的是（）。

A.顯影液的溫度
B.顯影液的濃度
C.顯影液的溶解度
D.顯影液的化學成分

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