A.注入離子的質(zhì)量 B.靶的種類 C.注入溫度 D.注入速度 E.注入劑量
A.非晶層 B.單晶層 C.多晶層 D.超晶層
A.臨界劑量 B.飽和劑量 C.無損傷劑量 D.零點(diǎn)劑量