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多項(xiàng)選擇題

下列哪些因素會影響臨界注入量的大小：（）。

A.注入離子的質(zhì)量
B.靶的種類
C.注入溫度
D.注入速度
E.注入劑量

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單項(xiàng)選擇題

當(dāng)注入劑量增加到某個值時，損傷量不再增加，趨于飽和。飽和正是對應(yīng)連續(xù)（）的形成。

A.非晶層
B.單晶層
C.多晶層
D.超晶層

單項(xiàng)選擇題

當(dāng)注入劑量增加到某個值時，損傷量不再增加，趨于飽和。開始飽和的注入劑量稱為（）。

A.臨界劑量
B.飽和劑量
C.無損傷劑量
D.零點(diǎn)劑量

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