A.LVD B.PED C.CVD D.PVD
A.形成晶核 B.晶粒成長 C.晶粒凝結 D.縫道填補 E.沉積膜成長
A.粒子擴散 B.從氣體源通過強迫性的對流傳送 C.化學反應 D.被表面吸附 E.靜電吸引