單項選擇題

真空鍍膜室內，在蒸發(fā)源加熱器與襯底加熱器之間裝有活動擋板，用來（）。

A.隔擋氣體交換
B.控制蒸發(fā)的過程
C.輔助熱量交換
D.溫度調節(jié)

微信掃碼免費搜題