多項選擇題

一般來說，濺射鍍膜的過程包括（）這幾步。

A.產(chǎn)生一個離子并導(dǎo)向靶
B.被轟擊的原子向硅晶片運動
C.離子把靶上的原子轟出來
D.經(jīng)過加速電場加速
E.原子在硅晶片表面凝結(jié)

微信掃碼免費搜題