填空題

原材料用硅砂，先將其還原為純度為97％-98％的（），為了進一步提高純度，將金屬硅與（）反應(yīng)，生成（），再將其還原，熱分解得到純度為99.99999％以上的多晶硅。

答案： 金屬硅；鹽酸；三氯氫硅
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