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涂層擴散法是用含有磷的溶液代替（）進行（）和加熱，使磷向硅片中擴散形成pn結，具有簡單易于大型化生產(chǎn)的優(yōu)點。
答案：
氣體；涂層
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填空題
氣體擴散法是將含（）的氣體在高溫下向硅片進行擴散，形成（），一般都用這一方法。
答案：
磷；pn結
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填空題
由于線切割面是被機械沖擊過，因此會殘留結晶變形，使電氣特性變壞，因此需用HF+HNO3進行腐蝕，使表面（）的程度。
答案：
減薄10—20µm
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