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填空題
產生等離子體的電力條件是(),無線電頻率可從射頻到VHF、微波范圍內多種多樣的頻率,但目前射頻等離子體CVD最普及。
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填空題
對于a-Si:H系,其物性上的最大特點是()通常為1.7—1.8ev,比結晶要寬,結構混亂引起的光學躍遷動量守恒定律的緩和作用,使其在可見光范圍內具有相當大的光吸收系數(shù)。
答案:
禁帶寬度
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填空題
a-Si:H以及合金材料,用()、熱CVD、光CVD等氣相生長法可以制造薄膜。
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等離子CVD
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