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托板和磨架導(dǎo)軌共有數(shù)個(gè)靜壓腔,壓力采用螺旋毛細(xì)管節(jié)流調(diào)節(jié),浮起量為()左右。
答案:
0.005-0.01mm
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答案:
Z,X,U,X1
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兩側(cè)頭及長(zhǎng)光柵采用德國(guó)海登漢公司產(chǎn)品,測(cè)量精度高。長(zhǎng)光柵進(jìn)度為(),短光柵精度為()。
答案:
0.005mm;0.001mm
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