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填空題
硅片平坦化的四種類型分別是（）、部分平坦化、（）和（）。
答案：
平滑；局部平坦化；全局平坦化
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填空題
終點檢測是指（）的一種檢測到平坦化工藝把材料磨到一個正確厚度的能力。兩種最常用的原位終點檢測技術(shù)是（）和（）。
答案：
CMP設(shè)備；電機電流終點檢測；光學(xué)終點檢測
