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名詞解釋
橫向擴(kuò)散
答案：
由于光刻膠無法承受高溫過程，擴(kuò)散的掩膜都是二氧化硅或氮化硅。當(dāng)原子擴(kuò)散進(jìn)入硅片，它們向各個方向運動：向硅的內(nèi)部，橫向和重...
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名詞解釋
有限表面源擴(kuò)散
答案：
擴(kuò)散開始時，表面放入一定量的雜質(zhì)源，而在以后的擴(kuò)散過程中不再有雜質(zhì)加入，此種擴(kuò)散稱為有限源擴(kuò)散。
