問答題

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答案： 在多層布線立體結構中，把成膜后的凸凹不平之處進行拋光研磨，使其局部或全局平坦化。
A.關于ECMP（電化學機械...
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答案： 普通濺射法有兩個缺點：一是濺射方法淀積薄膜的速率低；二是所需的工作氣壓較高，這兩者綜合效果是氣體分子對薄膜產生的污染的可...
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