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問答題
【簡答題】光學(xué)光刻中影響圖像質(zhì)量的兩個(gè)重要參數(shù)是什么？
答案：
分辨率和焦深。
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問答題
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答案：
汞燈，高壓汞燈，電流通過裝有氙汞氣體的管子產(chǎn)生電弧放電，這個(gè)電弧發(fā)射出一個(gè)特征光譜，包括240納米到500納米之間有用的...
