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A、下降率≤0.13kPa/min（1mmHg/min）優(yōu)良；
B、下降率≤0.27kPa/min（2mmHg/min）良好；
C、下降率≤0.4kPa/min（3mmHg/min）合格；
D、當真空下降率大于0.67kPa/min（5mmHg/min）時，則應停機查找原因，消除故障后再啟動。

A、冷態(tài)啟動≤150℃；
B、溫態(tài)啟動150℃～300℃；
C、熱態(tài)啟動300℃～400℃；
D、極熱態(tài)啟動≥400℃。