問答題

【簡答題】什么是擴散工藝？

答案： 擴散是微電子工藝中最基本的工藝之一，是在約1000℃的高溫、p型或n型雜質氣氛中，使雜質向襯底硅片的確定區(qū)域內擴散，達到...
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【簡答題】什么是雜質分凝效應和分凝系數？
答案： 任何一種雜質在不同相中的溶解度是不相同的，當兩個相緊密接觸時，原來存在某一相中的雜質將在兩相之間重新分配，直到在兩相中濃...
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【簡答題】氧化物有哪兩個生長階段？
答案：

化學反應控制階段和擴散控制階段
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