常壓化學(xué)氣相淀積、低壓化學(xué)氣相淀積、等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相淀積和高密度等離子體化學(xué)氣相淀積
1)氧化生成保護(hù)膜 2)離子再分布,減小雜質(zhì)濃度差 3)修復(fù)損傷 4)激活注入雜質(zhì)