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名詞解釋
離子注入的溝道效應(yīng)
答案：
當(dāng)離子沿晶軸方向入射時(shí)，大部分離子將沿溝道運(yùn)動(dòng)，不會(huì)受到原子核的散射，方向基本不變，可以走得很遠(yuǎn)。
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名詞解釋
離子注入的晶格損傷
答案：
高能離子注入硅片后與靶原子發(fā)生一系列碰撞，可能使靶原子發(fā)生位移，被位移原子還可能把能量依次傳給其它原子，結(jié)果產(chǎn)生一系列的...
名詞解釋
級(jí)聯(lián)碰撞
答案：
位移原子稱(chēng)為反沖原子。與入射離子碰撞而發(fā)生位移的原子，稱(chēng)為第一級(jí)反沖原子，與第一級(jí)反沖原子碰撞而位移的原子，稱(chēng)為第二級(jí)反...
