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方塊電阻(薄層電阻)
答案:
方塊電阻的大小直接反映了擴(kuò)散入硅內(nèi)部的凈雜質(zhì)總量。
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名詞解釋
固溶度(solubility)
答案:
在平衡條件下,雜質(zhì)能溶解在硅中而不發(fā)生反應(yīng)形成分凝相的最大濃度。
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擴(kuò)散定義
答案:
材料中元素分布的不均勻會(huì)導(dǎo)致擴(kuò)散行為的進(jìn)行,使得元素由濃度高處向濃度低處移動(dòng),從而產(chǎn)生的一種使?jié)舛然驕囟融呌诰鶆虻亩ㄏ蛞?..
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