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非橋鍵氧

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只與一個Si原子聯(lián)結(jié)的氧，是少數(shù)。
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橋鍵氧
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連接兩個Si-O四面體的氧稱為橋鍵氧，是多數(shù)。
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CMP
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化學(xué)機械拋光。
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