名詞解釋

自摻雜效應(yīng)

答案： 在外延生長過程中，襯底雜質(zhì)及其他來源雜質(zhì)因為熱蒸發(fā)，或者化學(xué)反應(yīng)等非人為地參入外延層，改變了邊界層中的摻雜成分和濃度，從...
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名詞解釋

擴(kuò)散效應(yīng)
答案：

襯底雜質(zhì)與外延層雜質(zhì)相互擴(kuò)散，導(dǎo)致界面處雜志再分布的現(xiàn)象。
名詞解釋

異質(zhì)外延
答案：

外延層與沉底的材料不同。
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