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使用干涉顯微鏡測量被測表面的粗糙度時,若干涉條紋為等距離平行直紋,則被測表面存在微觀平面度。
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干涉顯微鏡是利用光波干涉原理,把具有微觀不平的被測表面與光學(xué)鏡面相比較,以光的波長為基準(zhǔn)來測量零件的表面粗糙度。
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光切顯微鏡的被測材料可以是金屬、木材、紙張、塑料等。
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