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問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】摻雜的目的是什么?摻雜在何時(shí)進(jìn)行?慘雜方法有哪幾種?
答案:
改變半導(dǎo)體的導(dǎo)電類型,形成N型層或P型層,以形成雙極型晶體管及各種二極管的PN結(jié),或改變材料電導(dǎo)率;摻雜可與外延生長(zhǎng)同時(shí)...
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【簡(jiǎn)答題】什么是干法刻蝕?干法有幾種刻蝕方法?
答案:
用等離子體對(duì)薄膜線條進(jìn)行刻蝕的一種新技術(shù)。
分為等離子體刻蝕、反應(yīng)離子刻蝕RIE、磁增強(qiáng)反應(yīng)離子刻蝕、高密度等...
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問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】什么是刻蝕?
答案:
刻蝕即光刻腐蝕,就是通過(guò)光刻將光刻膠進(jìn)行光刻曝光處理,然后通過(guò)其他方式實(shí)現(xiàn)腐蝕以處理掉所需除去的部分。
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