問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】6.0線在存儲(chǔ)旋涂參數(shù)時(shí)應(yīng)注意什么？

答案： 應(yīng)該將旋涂自動(dòng)運(yùn)行和整機(jī)運(yùn)行按鈕按起，以避免丟失程序和pick3報(bào)警。
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答案： （1）用檢測(cè)儀測(cè)量白片厚度差；
（2）若需要調(diào)整在白片上作好標(biāo)記，用反射率測(cè)出的白片的薄厚分布情況，做好記錄；...
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答案： 首先要分析原因，是否是母盤(pán)的原因；其次找工藝工程師調(diào)整；最后找設(shè)備工程師調(diào)整模具。
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