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【簡(jiǎn)答題】四個(gè)旋涂碗都不下料,怎么辦?
答案:
(1)檢查染料情況;
(2)檢查dye泵工作情況,有沒有壓縮空氣,是否關(guān)閉dye泵;
(3)檢查dye泵膜片是否破損。
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【簡(jiǎn)答題】旋涂不下料應(yīng)查看什么?
答案:
查是否有染料,針頭是否堵,驅(qū)動(dòng)器信號(hào)。
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【簡(jiǎn)答題】Pick6在檢測(cè)儀上不取片怎么辦?
答案:
用盤片感測(cè)一下傳感器信號(hào)(關(guān)掉PLC重新開啟做初始化)。
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