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【簡(jiǎn)答題】如果光刻膠對(duì)光的吸收過(guò)多側(cè)墻會(huì)怎樣?
答案:
如果光刻膠的吸收過(guò)多,光刻膠底部接收的光強(qiáng)度就會(huì)比頂部的少很多,會(huì)導(dǎo)致圖形側(cè)墻傾斜。
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較短的波長(zhǎng)可以獲得光刻膠上較小尺寸的分辨率。
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