問答題

【簡(jiǎn)答題】如果光波長(zhǎng)減小分辨率會(huì)有什么變化,如果NA增加了呢?

答案: 光波長(zhǎng)減小分辨率提高。
題目列表

你可能感興趣的試題

問答題

【簡(jiǎn)答題】列出并解釋硅片表面反射引起的最主要的兩個(gè)問題。

答案: 兩種主要的光反射問題是反射切口和反射駐波,在刻蝕形成的垂直側(cè)墻表面,反射光到不需要曝光的光刻膠中就會(huì)形成反射切口,光刻中...
問答題

【簡(jiǎn)答題】陳述分辨率公式。影響光刻分辨率的三個(gè)參數(shù)?

答案:

R.K*入/NA
1,波長(zhǎng) 入
2,數(shù)值孔徑NA
3,工藝因子K

微信掃碼免費(fèi)搜題