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壓電式壓力傳感器的核心部件是(),它既是(),又是()。
答案:
一塊單晶硅膜片;壓敏元件;變換元件
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電容式壓力傳感器可分為()、()、()三種形式。
答案:
改變極板間距離;改變極板重疊面積;改變極板介質(zhì)常數(shù)
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常用壓力傳感器可以分為()、()、()、()、()、()等幾種。
答案:
電阻式;電感式;電容式;霍爾式;振弦式;壓電式
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