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【簡答題】硅諧振式傳感器是怎樣工作的?
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硅諧振式傳感器利用在一塊單晶硅芯片上一個在硅片中央,一個在硅片邊緣的兩個H型諧振梁在被測壓力作用下,一個受壓,一個受拉,...
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