填空題

冷卻水壓力低機器將（）主空氣壓力低機器將（）生產(chǎn)時無菌室門打開機器將（）夾爪超載機器將（）吸氣閥位置不正確機器將（）橫封高頻感應加熱器報警機器將（）調(diào)節(jié)閥報警機器將（）雙氧水罐液位低如（）分不采取行動、則機器暫停。

答案： 程序降至干燥；排空；排空；程序降至干燥；程序降至干燥；程序降至干燥；位置報警：程序降至干燥，泄漏報警：排空；3
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冷卻水壓力（）Mpa；1Par=（）Kpa。
答案： 0.3—0.45；100
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空氣調(diào)節(jié)單元由哪幾部分組成（）、（）、（）、（）。
答案： 分離器；氣壓調(diào)節(jié)器；壓力表；潤滑器
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