問答題

【簡(jiǎn)答題】立式爐系統(tǒng)的五部分是什么？例舉并簡(jiǎn)單描述？

答案： 工藝腔、硅片傳輸系統(tǒng)、氣體分配系統(tǒng)、尾氣系統(tǒng)、溫控系統(tǒng)
工藝腔是對(duì)硅片加熱的場(chǎng)所，由垂直的石英罩鐘、多區(qū)加熱電...
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【簡(jiǎn)答題】例舉并描述熱生長(zhǎng)SiO2–Si系統(tǒng)中的電荷有哪些？
答案：

界面陷阱電荷、可移動(dòng)氧化物電荷。
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【簡(jiǎn)答題】影響氧化速度的因素有哪些？
答案：

摻雜物、晶體晶向、壓力、溫度、水蒸氣。
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