問答題

【論述題】什么是離子注入的橫向效應(yīng)?同等能量注入時,As和B哪種橫向效應(yīng)更大?為什么?

答案:橫向效應(yīng):注入的離子在垂直于入射方向平面內(nèi)的分布情況。橫向效應(yīng)與注入離子的種類和離子能量有關(guān)。B的橫向效應(yīng)更大,因為質(zhì)量...
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