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【論述題】下圖為直流等離子放電的I-V曲線,請分別寫出a-g各段的名稱??捎米靼雽w制造工藝中離子轟擊的是其中哪一段?試解釋其工作原理。
答案:
ab段為無光放電區(qū);bc段為湯生放電;c點為放電的著火點,cd段為前期輝光放電;de段為正常輝光放電區(qū)ef段為反常輝光放...
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【論述題】簡述幾種典型真空泵的工作原理。
答案:
幾種典型的真空泵結(jié)構:①活塞式機械泵;②旋片式機械泵;③增壓器——羅茨泵;④油擴散泵;⑤渦輪分子...
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【論述題】什么是擴散效應?什么是自摻雜效應?這兩個效應使得襯底/外延界面雜質(zhì)分布有怎樣的變化?
答案:
擴散效應是指襯底中的雜質(zhì)與外延層中的雜質(zhì),在外延生長時互相擴散,引起襯底與外延層界面附近雜質(zhì)濃度的緩慢變化。擴散效應對界...
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