問答題

【論述題】射頻放電與直流放電相比有何優(yōu)點?

答案: 直流放電中,電荷在表面的積聚會使電場減小,直到等離子體消失。在射頻電場中,因為電場周期性地改變方向,帶電粒子不容易到達(dá)電...
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【論述題】下圖為直流等離子放電的I-V曲線,請分別寫出a-g各段的名稱??捎米靼雽?dǎo)體制造工藝中離子轟擊的是其中哪一段?試解釋其工作原理。

答案: ab段為無光放電區(qū);bc段為湯生放電;c點為放電的著火點,cd段為前期輝光放電;de段為正常輝光放電區(qū)ef段為反常輝光放...
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【論述題】簡述幾種典型真空泵的工作原理。

答案: 幾種典型的真空泵結(jié)構(gòu):①活塞式機械泵;②旋片式機械泵;③增壓器——羅茨泵;④油擴散泵;⑤渦輪分子...
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