名詞解釋

物理氣相沉積

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名詞解釋

化學(xué)氣相沉積
答案： 化學(xué)氣體或蒸氣和晶圓表面的固體產(chǎn)生反應(yīng)，在表面上以薄膜形式產(chǎn)生固態(tài)的副產(chǎn)品，其它的副產(chǎn)品是揮發(fā)性的會從表面離開。
問答題

【簡答題】硅錠直徑從20世紀(jì)50年代初期的不到25mm增加到現(xiàn)在的300mm甚至更大，其原因是什么？
答案： （1）更大直徑硅片有更大的表面積做芯片，能夠減少硅片的浪費(fèi)。
（2）每個硅片上有更多的芯片，每塊芯片的加工和處...
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