名詞解釋

蒸發(fā)鍍膜

答案：

加熱蒸發(fā)源，使原子或分子從蒸發(fā)源表面逸出，形成蒸汽流并入射到硅片（襯底）表面，凝結形成固態(tài)薄膜。
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