SF6氣體濕度較高時，易發(fā)生水解反應(yīng)生成酸性物質(zhì)，對設(shè)備造成腐蝕；加上受電弧作用，易生成有毒的低氟化物。故對滅弧室及其相通氣室的氣體濕度必須嚴(yán)格控制，在交接、大修后及運行中應(yīng)分別不大于150³10－6及300³10－6（體積分?jǐn)?shù)）。