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通常熱擴散分為兩個大步驟，其中第一個步驟是（）。
A.再分布
B.等表面濃度擴散
C.預淀積
D.等總摻雜劑量擴散
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單項選擇題
下列哪些元素在硅中是快擴散元素：（）。
A.Na
B.B
C.P
D.As
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He，OH，Na等元素在900℃下，在二氧化硅中的擴散率大于10－13cm
2
/s，這些元素稱為（）。
A.活躍雜質(zhì)
B.快速擴散雜質(zhì)
C.有害雜質(zhì)
D.擴散雜質(zhì)
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