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在將清洗完的硅片放進(jìn)擴(kuò)散爐擴(kuò)散時,需要將硅片先裝入(),然后再裝入擴(kuò)散爐。
A.耐熱陶瓷器皿
B.金屬器皿
C.石英舟
D.玻璃器皿
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通常熱擴(kuò)散分為兩個大步驟,其中第一個步驟是()。
A.再分布
B.等表面濃度擴(kuò)散
C.預(yù)淀積
D.等總摻雜劑量擴(kuò)散
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下列哪些元素在硅中是快擴(kuò)散元素:()。
A.Na
B.B
C.P
D.As
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